• 高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱

    VZB-400型蒸镀设备的主要用户群体为大专院校和科研院所,该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,实现试验样品在手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

  • 高真空电阻蒸发镀膜设备-蒸镀电极首选

    VZZ-300 采用大抽速分子泵准无油高真空系统,真空机电一体化设计,两组/三组蒸发源可兼容金属材料与有机材料的蒸镀,性价比高,操控简便。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

  • 超高真空电阻蒸发镀膜设备-可连接手套箱

    VZZ-400 采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。3~6组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。

  • 全自动高真空磁控溅射镀膜设备

    VJC系列磁控溅射镀膜设备配备多只圆形平面靶或矩形平面靶,采用DC、DC脉冲、RF电源,该系列设备真空机电一体化设计,结构紧凑;核心部件进口国内组装,性价比高;模块化设计,可扩展性和高可靠性;广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜,以及新材料、新工艺研究。

  • 小型高真空磁控溅射镀膜设备

    VJC系列磁控溅射镀膜设备配备多只圆形平面靶或矩形平面靶,采用DC、DC脉冲、RF电源,该系列设备真空机电一体化设计,结构紧凑;核心部件进口国内组装,性价比高;模块化设计,可扩展性和高可靠性;广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜,以及新材料、新工艺研究。

  • 高真空电子束复合热蒸发镀膜设备

    VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能,具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台,配1~3组电阻蒸发源。结构合理紧凑,性能稳定可靠,操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。