小型高真空电阻蒸发镀膜设备-蒸镀电极
VZZ-300是我公司专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统，机架电控一体化设计，整体布局紧凑合理，充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的玻璃真空室结构相得益彰。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。
主要特点/优势：
★ 玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★ 复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
★ 两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★ 专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★ 可镀110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
★ 衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
★ 良好的薄膜均匀性和重复性，可在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★ 可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★ 设备集成度高，结构紧凑，占地面积小（0.92平米）；设备配脚轮，方便移动和定位。
主要技术指标：
型号 | VZZ-300A | VZZ-300B |
真空室 | Φ300×H415mm；玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座 | |
真空系统 | 复合分子泵+双级旋片泵（分子泵抽速≥450L/s） | |
极限真空 | 优于3×10-5Pa（2×10-7Torr） | |
恢复真空时间 | 达到3×10-4Pa≤15min | |
蒸发源 | 2～4组蒸发源（兼容金属与有机），可2组共蒸 | |
蒸发电源 | 1台蒸发电源，通过切换按钮，能实现一次真空环境2～4源依次蒸发； 额定功率：2.3KW，恒流工作模式，最大电流230A； | |
基片台 | 110mm方形基片（可装卡15～25mm ITO/FTO玻璃16～25片），可定制掩膜板； 基片台可选择加热（室温～300℃）或水冷 | 77mm方形基片，可定制掩膜板； 基片台旋转：旋转速度0-25转/分连续可调； 基片台可选择加热（室温～300℃可调可控） |
速率和膜厚监控 | 监测厚度范围：1Å～99µ9999Å，分辨率1Å；监测速率范围：0.1Å～9999.9Å.S/s，分辨率0.1Å | |
电控系统 | 手动按钮继电器逻辑控制； | PLC+触摸屏 |
报警保护 | 完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护； 系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 | |
选配 | 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源等 | |
设备配电 | 电压：AC220V/50HZ | |
功率：≤3.5KW | ||
设备尺寸 | 长×宽：1150×800mm | |
技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
